【時訊科普】硅晶片的生產(chǎn)工藝
?【時訊科普】硅晶片的生產(chǎn)工藝
生產(chǎn)過程中最重要的工藝是拋光晶圓片，此工藝在超凈間中進行。
超凈間從一到一萬分級，這些級數(shù)對應(yīng)于每立方米空間中的顆粒數(shù)。
這些顆粒在沒有控制的大氣環(huán)境下肉眼是不可見的。
例如起居室或辦公室中顆粒的數(shù)目大致在每立方米五百萬個。
為了保持潔凈水平，生產(chǎn)工人必須穿能蓋住全身且不吸引和攜帶顆粒的潔凈服。
在進入超凈間前，工人必須進入吸塵室內(nèi)以吹走可能積聚的任何顆粒。
硅晶片大多數(shù)生產(chǎn)型晶圓片都要經(jīng)過兩三次的拋光,拋光料是細(xì)漿或者拋光化合物。
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